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真空镀膜机使用步骤

发布时间:2017-06-21 15:59:50点击率:

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电控柜操作


1. 开水泵、气源。


2. 开总电源。


3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。


4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。


5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和


高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。


DEF-6B操作


1. 总电源。


2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。


3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。


关机顺序


1. 关高真空表头、关分子泵。


2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。


3. 到50以下时,再关维持泵。


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