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真空镀膜机操作程序

发布时间:2017-06-21 16:01:39点击率:

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真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书


和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。


① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。


② 打开总电源开关,设备送电。


③ 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。


④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。


⑤ 落下钟罩。


⑥ 启动抽真空机械泵。


⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。


a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。


b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。


⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。


⑨ 真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。


⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。


⑪ 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。


a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。


b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。


⑫ 旋转发射调节钮“4”,使高压真空表“5”内指针指向5。


⑬ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。


⑭ 旋转零点调节钮“10”,让高压真空表“5”内指针指向0位置。


⑮ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。


⑯ 旋转标准调节钮“3”,让高压真空表“5”内指针指向10。


⑰ 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12,当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时,再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。


⑱ 当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时,开工件旋转钮开关,钟罩内被镀件PVDF膜转动。


⑲ 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔,可插入任意一孔)。


⑳ 右手旋转右侧调压器手轮,慢慢旋转升压。


a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。


b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色,铝丝开始熔化时,左手操作挡板钮,移开钨螺旋上方挡板。


c. 铝丝全部熔化蒸发,挡板回原位。


d. 右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。


21. 如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复⑳操作动作。


22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。


23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间,当没有气.声时,升钟罩。


24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。


25. 落钟罩。开机械泵。


a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。


b. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,低压阀推入。


c. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。


d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。


e. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时,开规管灯丝。


f. 由⑰开始重复操作至⑳ 。


26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后,按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气,充气完毕后升钟罩。取出工件,做好钟罩内清理工作。


a. 落下钟罩。


b. 开机械泵,抽3~5min,停机械泵。


c. 切断供电总开关。


d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。


27. 正常生产中,如遇到突然停电时,要立即切断高真空测量,关闭规管灯丝,高压阀、低压阀拉出。来电后,先让机械泵启动工作3~5min后,再转入正常生产。


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